等离子体工艺腔室仿真平台研发成功

18日从大连理工大学获悉,该校科研团队研发出国内首款具有自主知识产权的等离子体工艺腔室仿真平台(MAPS)。该平台可在虚拟世界中复现真实的制造过程,以实现产品的提前研发和性能预判。目前,该技术已应用于拓荆科技、华为等多家企业,较国外同类型产品节约经济成本15%、节约时间成本20%。(科技日报)

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